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TRS-11產品屬于創芯海微TRS-X?系列產品，主要用于非接觸式體溫測量、空調系統以及家用電器智能溫度感應與控制。
參數 | 參數值 | 單位 |
晶圓直徑 | 200±0.5 | mm |
晶圓厚度 | 400±20 | μm |
劃片道寬度 | 120 | μm |
晶圓去邊 | 3 | mm |
有效管芯數量 | 18608 | 個 |
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圖1. 正面曝光視場分布圖（wafer mapping） | 圖2. 單個曝光視場芯片分布圖（shot mapping） |
注：圖1中粉色和黃色為正面圖形曝光，黃色為背腔釋放曝光，封裝拾芯以黃色區域為準。圖2中白色區域為測試裸芯，每個視場（shot）有兩個裸芯片。
1. 芯片外觀尺寸
圖3. 芯片外觀尺寸圖
表2. 芯片外觀尺寸表
參數 | 參數值 | 單位 |
芯片尺寸（含劃片道） | 1120*1120 | μm2 |
敏感區域 | 700*700 | μm2 |
Bonding PAD尺寸 | 90*90 | μm2 |
PAD金屬（AlCu） | 0.5 | μm |
2. 芯片性能參數
表3. 芯片特征參數表
參數 | 參數值 | 單位 |
芯片尺寸 | 1120*1120 | μm2 |
敏感區域 | 700*700 | μm2 |
電阻 | 290±30 | kΩ |
響應率 | 118 | V/W |
時間常數 | 20 | ms |
工作溫度 | -30~120 | ℃ |
輸出電壓1 | 12.62 | mV（環境溫度：25℃；黑體溫度：500K；黑體距離：100mm） |
輸出電壓2 | 855.5 | μV（環境溫度：25℃；黑體溫度：37℃；黑體距離：25mm） |
測試條件：25℃；500K，5.5μm長通；500K，1Hz
3. 常溫VT曲線
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圖4. VT曲線（25℃；黑體距離25mm） | 圖5. VT曲線（23℃；黑體距離25mm） |
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圖6. 不同環境溫度VT曲線（黑體距離25mm） |
1. 芯片劃片尺寸
表4. 芯片劃片尺寸
參數 | 參數值 | 單位 |
芯片尺寸（含劃片道） | 1120*1120 | μm2 |
劃片道尺寸 | 120 | μm |
劃片厚度（Si） | 400 | μm |
劃片道其他介質 | 3 | μm |
圖7. 劃片尺寸圖
2. 推薦貼膜與劃片方法
表5. 推薦貼膜與劃片方法
項目 | 操作要求 |
貼膜材料 | UV膜或藍膜。 |
貼膜方式 | 貼UV膜時，使用8吋或10吋鐵環，先將膜貼在鐵環上，然后將片子貼在膜上； 晶圓背面貼膜，正面不能貼膜。 |
擴膜 | 按照封裝廠的設備要求，提出擴膜尺寸要求。UV膜支持80-100μm擴膜尺寸。 |
解膜 | 封裝前需解膜。若劃片后晶圓需長途快遞，劃片后先不解膜，避免因解膜粘度降低而造成結構損傷。 |
劃片規格 | 8吋整切，一分四，分別貼膜劃片，一分六分別貼膜劃片。 |
劃片方式 | 使用激光隱形切割，激光隱切深度約100μm/次，劃400μm厚度的晶圓，需激光在同一位置切割4-5次。 |
1. 管殼規格參數
表6. 管殼規格參數
參數 | 參數值 | 單位 |
引腳數量 | 4 | Pin |
材質 | SPCC | - |
材質氣密性 | ＜1×10-8 | atm.cc/sec |
絕緣氣密封 | 傳感器在氮氣環境中密封 | - |
表面處理 | 電鍍鎳 | - |
環境物質 | 符合RoHS標準 | - |
腔體壓力 | 一個大氣壓 | - |
2. 管帽圖紙參數
表7. 管帽圖紙參數
參數 | 參數值 | 單位 |
管帽頂部開孔（光窗口）直徑 | 2.5±0.2 | mm |
管帽底部外徑 | 5.4±0.2 | mm |
管帽高度 | 2.6±0.2 | mm |
圖8. 管帽規格圖
3. 引腳電氣連接
表8. 引腳電氣連接表
引腳 | 定義 |
1 | TP+ |
2 | NTC |
3 | TP- |
4 | Ground |
注：NTC也可放置于引腳1和引腳2之間。
1. 硅基長波通濾光片
表9. 硅基長波通濾光片規格表
參數 | 參數值 | 單位 |
5.5μm~14μm平均透過率 | >80% | - |
厚度 | 0.5±0.1 | mm |
尺寸 | 2.93*2.93（±0.05） | mm2 |
封裝形式 | PVC膠膜真空封裝 | - |
2. 銀電極NTC熱敏電阻
表10. 銀電極NTC熱敏電阻規格表
參數 | 參數值 | 單位 |
熱敏電阻阻值 | 100±1% | kΩ |
電阻值Beta值 | 3950±1% | K |
尺寸 | 0.5*0.5（±0.1） | mm2 |
工作溫度 | -40~+200 | ℃ |
封裝形式 | 藍膜封裝 | - |
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