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    江蘇創芯海微科技有限公司
     
     
    熱電堆傳感器 紅外測溫模組 智能紅外測溫掛件 檢測服務
    TRS-11熱電堆傳感器裸芯片
    產品
    圖片5.png
    概述

    TRS-11產品屬于創芯海微TRS-X?系列產品,主要用于非接觸式體溫測量、空調系統以及家用電器智能溫度感應與控制。

    晶圓尺寸

    參數

    參數值

    單位

    晶圓直徑

    200±0.5

    mm

    晶圓厚度

    400±20

    μm

    劃片道寬度

    120

    μm

    晶圓去邊

    3

    mm

    有效管芯數量

    18608

     

    image.png 

     

    image.png 


    1. 正面曝光視場分布圖(wafer mapping

    2. 單個曝光視場芯片分布圖(shot mapping


    注:圖1中粉色和黃色為正面圖形曝光,黃色為背腔釋放曝光,封裝拾芯以黃色區域為準。圖2中白色區域為測試裸芯,每個視場(shot)有兩個裸芯片。


    裸芯片參數

    1. 芯片外觀尺寸

     

    image.png 

    3. 芯片外觀尺寸圖

    2. 芯片外觀尺寸表

    參數

    參數值

    單位

    芯片尺寸(含劃片道)

    1120*1120

    μm2

    敏感區域

    700*700

    μm2

    Bonding PAD尺寸

    90*90

    μm2

    PAD金屬(AlCu

    0.5

    μm


    2. 芯片性能參數

    3. 芯片特征參數表

    參數

    參數值

    單位

    芯片尺寸

    1120*1120

    μm2

    敏感區域

    700*700

    μm2

    電阻

    290±30

    響應率

    118

    V/W

    時間常數

    20

    ms

    工作溫度

    -30~120

    輸出電壓1

    12.62

    mV(環境溫度:25℃;黑體溫度:500K;黑體距離:100mm

    輸出電壓2

    855.5

    μV(環境溫度:25℃;黑體溫度:37℃;黑體距離:25mm

    測試條件:25℃;500K,5.5μm長通;500K,1Hz

     

    3. 常溫VT曲線

    image.png 

    image.png 

    4. VT曲線(25℃;黑體距離25mm

    5. VT曲線(23℃;黑體距離25mm

    image.png 


    6. 不同環境溫度VT曲線(黑體距離25mm



    推薦劃片方法

    1. 芯片劃片尺寸

    4. 芯片劃片尺寸

    參數

    參數值

    單位

    芯片尺寸(含劃片道)

    1120*1120

    μm2

    劃片道尺寸

    120

    μm

    劃片厚度(Si

    400

    μm

    劃片道其他介質

    3

    μm

     

    image.png 

    7. 劃片尺寸圖


    2. 推薦貼膜與劃片方法

    5. 推薦貼膜與劃片方法

    項目

    操作要求

    貼膜材料

    UV膜或藍膜。

    貼膜方式

    UV膜時,使用8吋或10吋鐵環,先將膜貼在鐵環上,然后將片子貼在膜上;

    晶圓背面貼膜,正面不能貼膜。

    擴膜

    按照封裝廠的設備要求,提出擴膜尺寸要求。UV膜支持80-100μm擴膜尺寸。

    解膜

    封裝前需解膜。若劃片后晶圓需長途快遞,劃片后先不解膜,避免因解膜粘度降低而造成結構損傷。

    劃片規格

    8吋整切,一分四,分別貼膜劃片,一分六分別貼膜劃片。

    劃片方式

    使用激光隱形切割,激光隱切深度約100μm/次,劃400μm厚度的晶圓,需激光在同一位置切割4-5次。


    推薦TO-46管殼管帽

    1. 管殼規格參數

    6. 管殼規格參數

    參數

    參數值

    單位

    引腳數量

    4

    Pin

    材質

    SPCC

    -

    材質氣密性

    1×10-8

    atm.cc/sec

    絕緣氣密封

    傳感器在氮氣環境中密封

    -

    表面處理

    電鍍鎳

    -

    環境物質

    符合RoHS標準

    -

    腔體壓力

    一個大氣壓

    -

     


    2. 管帽圖紙參數

    7. 管帽圖紙參數

    參數

    參數值

    單位

    管帽頂部開孔(光窗口)直徑

    2.5±0.2

    mm

    管帽底部外徑

    5.4±0.2

    mm

    管帽高度

    2.6±0.2

    mm

     

    image.png 

    8. 管帽規格圖

     

    3. 引腳電氣連接

    8. 引腳電氣連接表

    引腳

    定義

    1

    TP+

    2

    NTC

    3

    TP-

    4

    Ground

     

    注:NTC也可放置于引腳1和引腳2之間。


    推薦封裝原料規格

    1. 硅基長波通濾光片

    9. 硅基長波通濾光片規格表

    參數

    參數值

    單位

    5.5μm~14μm平均透過率

    >80%

    -

    厚度

    0.5±0.1

    mm

    尺寸

    2.93*2.93±0.05

    mm2

    封裝形式

    PVC膠膜真空封裝

    -

     

     

    2. 銀電極NTC熱敏電阻

    10. 銀電極NTC熱敏電阻規格表

    參數

    參數值

    單位

    熱敏電阻阻值

    100±1%

    電阻值Beta

    3950±1%

    K

    尺寸

    0.5*0.5±0.1

    mm2

    工作溫度

    -40~+200

    封裝形式

    藍膜封裝

    -


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